必须由经过适当培训的技术人员维护真空泵，以确认技术人员熟悉泵油和系统的产品。必须在维护之前停止泵，降低到安全温度，断开泵和其他组件和电路。为了避免事故。维护完成后，在连接电源之前重新检查泵的旋转方向。如果损坏，o形圈和垫圈不可回收。
在操作过程中，真空泵和油被化学品污染。因此，应确认泵是否清洁并采取适当措施防止这些有害物质对人员造成伤害。维护完成后，应检查是否有泄漏，如果有，则应重新密封。请勿接触或吸入高温（260°c）泵的热降解产品，这些产品很危险，包括油，油脂和真空润滑脂。
检查前真空泵油位：
如有必要，您可以在泵运行时检查油位，但如果您想加油，则需要断开前置真空泵和相关组件与电源的连接。
1.通过前置真空泵的可见窗口检查油位是否高于最小极限并低于最大极限。
2.如果油位等于或低于最低限制，打开油孔并加油至最大限度。如果加太满，则可以从出口释放该点。
3.如果油污严重，请排出受污染的油并清洁泵并加入清洁的油。
更换前置真空泵油：
1.打开泵10分钟，加热泵油，然后加热关泵（加热后油可以降低其粘度，更容易倒出）。
2.断开泵与回路和真空系统的连接。
3.从填充孔中拔掉塞子。
4.将泵放在合适的支架（如凳子）上，以便于倾斜泵，并在排水管下方放置一个合适的容器。取下排油口的塞子，让油在重力作用下流入容器。
5.当油污染时：
5.1取下油孔的塞子并倒入清洁的油。
5.2重新连接泵和回路连接并打开泵5-10分钟。
5.3断开泵与电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出。
5.4重复上述步骤，直至清洁泵。
6.插入排水口的塞子，取下支架，然后将泵重新连接到回路和真空系统。
7.安装新油直到油位达到max位置。
8.等待几分钟，直到油泵入泵中。如有必要，加油（需要关泵）。插入加油孔的塞子。
1.拧下入口适配器，取下“o”形圈，弹性挡圈和入口过滤器。
2.用合适的溶液清洁入口过滤器并干燥入口过滤器。
3.重新安装入口过滤器，弹性挡圈，'o'ring和入口适配器。