1、100#真空泵油的密封性好：真空泵油需求具有适合的粘度，在低温下能使真空泵疾速启动，在高温下真空泵油能具有良好的密封性，在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分，降低运用过程中真空泵的返油率。
2、真空泵油的饱和蒸汽压：饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中，当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。油品的饱和蒸汽压要尽量低，在泵的最高工作温度下，仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5 kpa(因温升每上升20℃，饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。
3、真空泵油的极限全压力和极限分压力：极限全压力：由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质(气体)产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。极限分压力：用水银紧缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力，双级旋片泵分压力应为≤6×10-5 kpa。极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大，真空泵油中含有的挥发成分就越多，油品的性质就越差。
4、真空泵油的光滑性：摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等，都与光滑条件有关。表现佳的真空泵油有利于抑止腐蚀磨损；能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损；流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用，也可减轻磨擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源，减少磨损，以延长机械寿命。
5、真空泵油的降温冷却性能：降低摩擦面的温度是光滑的一个重要作用。摩擦面运动时必需克制摩擦力而作功，耗费在克制摩擦力上的功全部转化为热量，其结果将惹起摩擦面温度上升。摩擦热的大小与光滑状态有关，粘度高的热量最大，粘度低的热量最小，而边境摩擦的热量则介于两者之间。由此可见，用适宜粘度的真空泵油不只能够完成液体光滑，减少摩擦热的产生，而且还能够将摩擦热及时地带出泵体外。
6、真空泵油的清净性：摩擦副不可防止地要与四周介质接触，惹起腐蚀、锈蚀而毁坏。表现优秀的真空泵油请求尽可能把摩擦面积垢清洗扫除；抗腐蚀防锈并维护摩擦外表不受油蜕变或外来腐蚀。