光电真空系统-阿特拉斯螺杆真空机组:真空领域和减排系统atlas螺杆真空机组应用领域:分析仪器、化工、食品加工、发电凯发娱发k8官网的解决方案、半导体、平板显示、可再生能源(太阳能、led照明、储能等)、石材、印刷包装、家具木材等行业。半导体真空泵应用:晶圆制造过程中的单晶拉晶、loadlock、刻蚀、cvd、ald、封裝、测试等清洁或严苛制程。真空泵于半导体设备意义重大:若半导体器件不同材料层之间混入气体分子,会破坏器件的电学或光学性能,而真空系统可对芯片的性能和良率起决定性作用。atlas螺杆真空机拥有vsd和设定点控制功能,而常规的真空泵是不具备这样的功能的,可根据实际所需真空水平或速度,提供需求的真空气量,避免造成浪费,atlas螺杆真空泵是真空领域的节能减排真空系统,节能可达50%,深受用户好评。
发布时间:
2024
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