在《真空系统中金属材料的出气来源》中,螺杆真空泵制造商介绍了真空系统中的金属废气主要来自两个方面。接下来,让我们了解通用金属零件的脱气方法。
通常情况下,真空系统中的金属零件和真空室外壳可以通过真空烘烤进行脱气。清洁后残留的挥发性杂质,氧化物以及各种有机和无机污染物可以更轻松地在真空中去除;此外,在真空环境中的扩散效应也有利于去除金属中的杂质原子并减少材料中的气体含量。随着温度的升高,金属表面上的解吸气体量和从金属表面扩散的气体量都将增加。身体会增加。因此,金属材料通常被加热到可以承受脱气的最高温度。
在对金属零件进行真空烘烤和脱气之前,必须对表面进行除油,清除表面上的氧化层和其他污染物,然后在真空中加热进行脱气。真空烘烤脱气通常在10 ^
-2〜10 ^
-3pa的压力下进行。同时,通常选择最高的烘烤温度作为材料的退火温度。这不仅保证了良好的真空性能,而且消除了金属零件。加工过程中的内应力。但是对于不同材料的金属零件,烘烤温度和时间会有所不同。对于托架和弹簧之类的预应力零件,烘烤温度需要低于退火温度。铝制零件由于熔点较低而无法烘烤。
500℃以上;对于厚壁或直径较大的零件,应适当延长烘烤时间。
另外,实际上,对于真空工程中常用的不锈钢和铝或铝合金材料,真空烘烤脱气和辉光排出脱气的效果大致相同,但是脱附材料的组成不同。真空烘烤脱气的残余气体主要由二氧化碳,一氧化碳,水和氢气组成,而辉光放电脱气的残余气体主要为氢气。
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