真空系统是指通过管道将真空泵、真空计和各种部件以适当的方式连接起来，达到一定真空度的装置。真空系统的基本要求是什么?
1.在泵送装置或工作室中获得所需的极限真空和工作真空
极限真空度是指装置在无泄漏和放气时达到的真空度，工作真空度是指装置在进行真空处理时能够保持的真空度。在真空处理过程中经常会释放出大量的气体，此时的工作真空度将大大低于极限真空度。极端真空度和工作真空度有其自身的重要性，它们从不同方面影响着器件的质量。例如，在使用氧化物阴极装置的排气真空系统中，电10-2电极除气和阴极分解将产生大量除气。如果工作真空度差，电极可能被氧化，阴极可能活化不好。然而，当装置最终被密封时，基本上没有泄漏和放气，并且装置中的真空度取决于排气真空系统的极限真空度。
2.获得一定工作真空度所需的时间
这个时间取决于真空系统机组的抽吸速度。提高泵送速度可以缩短这一时间。大型工作室显然需要大的泵速。有时工作间不大，但由于泄漏和放气严重，真空系统也需要较大的抽气速度，否则大量的泄漏和放气会大大降低真空度，使系统无法工作。
3.泵送装置或工作室中有合适的残留气体成分
实践证明，仅仅提高和保证极限真空度和工作真空度是不够的，还需要对残余气体成分有一定的要求。例如，对于真空摄像装置，为了在一年的使用寿命内保持灵敏度降低不超过巧合，要求装置中残留气体的氧含量不高于10-2pa。耐高压真空开关管不应含有碳氢化合物分子等。如果系统中没有其他气源，真空系统的残余气体成分主要取决于泵的特性。
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为了满足这些要求，必须综合考虑泵的选择、管道尺寸的确定和布置以及组装过程。这些基本要求通常是相互关联的。例如，真空系统中总是有轻微的泄漏，所以泵速高的泵可以获得比泵速低的泵更好的工作真空度。然而，大型水泵价格昂贵，消耗大量的水和电，所以有一个合理的选择。微型真空泵适用于仪器和小型真空系统。它们成本低、效率高、噪音低。有些用户不适合选择流量较大的工业真空泵。
5.自动化要求
随着计算机技术的发展，用户对真空系统自动化的要求也在不断提高。对于真空系统，自动控制主要是调节真空泵流量和真空度。真空度通常通过调节真空泵流量、安装节流阀和减压阀来控制。节流会导致巨大的能量损失和额外的噪音。最好直接调节真空泵的转速。工业真空泵的调速方法有很多种，主要分为两类:第一类是通过附加装置来改变真空泵的速度，如齿轮箱调速;第二类是直接改变电机的速度，如可控硅串级调速、变频调速等。目前工业真空泵常用的方法是变频调速，节能效果好，可以实现无级调速，调速比大，调速准确，速度稳定。
对于适用于小型真空系统的微型真空泵，过去主要采用减压调速。减压操作的副作用是延长泵和电机的使用寿命。如果泵的负载很大，很容易导致电机在降压后无法启动，导致电机温度下降
一般来说，对于具有良好气密性的真空系统，如果内部没有定期放气和蒸汽源，则可以使用具有良好最终真空度的较小泵。但是，如果系统的泄漏和放气更多，必须采用提高泵速的方法来保证系统的真空度。此时，应采用泵速较大的泵，并尽可能增加管道的传导率，即应选择短而粗的管道。