旋片真空泵长期使用后，会出现真空下降、密封处漏油、真空泵旋转停滞甚至“卡滞”、严重油污、真空泵腔生锈、旋片撞击声大、硬物落入真空泵腔划伤真空泵腔、真空泵过热等异常现象。
此时，真空泵必须拆卸和清洗。该方法包括以下步骤。
(1)切断电源，从真空系统中取出真空泵。
(2)用重力法或加压法排放和收集污油，避免环境污染。
(3)取下皮带和滑轮键(双级旋片真空泵包括皮带)。
(4)先拆下低真空端，拆下后端盖，然后拆下低真空转子、旋转板、弹簧等。
(5)拆下前端盖，取出高真空转子、转盘、弹簧等。
(6)拆下视镜、排气阀、排气盖等。
(7)用汽油彻底清洗去除的金属部件，并用酒精脱水。橡胶部件可以用15%氟化氢钠溶液煮沸除去油。对于有毛刺或铁锈的零件，可以使用油石或金相砂纸轻轻打磨以去除锈斑和毛刺。清洁过的零件必须干燥。
(8)组装时，先安装后级，托起弹簧和旋转板，安装到转子中，然后将前端盖安装到真空泵室内，安装定位销，均匀对称地拧紧螺钉。组装后，旋转应灵活均匀。安装前转子和后端盖后，安装排气阀(排气阀片应紧紧地附在阀座上)和其他部件，如气体镇流器装置等。
(1)定期检查油位是否低以及干油标记线。如果有低干油标记，应及时加油。杏会影响真空泵的真空度。油量不应太多，否则会导致起动困难和喷油困难等问题。
(2)应注意真空泵的正常运行、有无特殊噪音、机器过载运行以及电机真空泵温度过高。
(3)水冷真空泵应防止冷却水中断，真空泵温度不得超过70度。如果环境温度低且干燥5度，真空泵中的冷却水应在关闭后排出，以防止真空泵冻结和破裂。
(4)旋片真空泵应通过皮带保持清洁。真空泵上不得放置任何其他物体。
(5)注意皮带松紧是否合适。如有必要，进行调整或更换。
(6)真空泵油应每年定期更换1~3次。用于真空熔炼的机械真空泵每月可以换一桶以上的油。这是因为在使用干式真空泵的过程中，真空泵油将被灰尘、湿气或其他污垢或肥皂和碳化所污染，这将影响旋片真空泵的性能。因此，有必要根据具体情况定期更换机油。