干式螺杆真空泵是一种利用一对螺杆在泵壳内同步高速反转产生吸排气效果的真空泵设备。干式螺杆真空泵的工作原理是：利用齿轮传动同步反向旋转，相互啮合，不接触左、右螺杆高速旋转;利用泵壳和啮合螺旋桨的螺旋槽分成多个空间，形成多个级;气体在相等的凹槽中输送，但不被压缩;只有螺杆末端的螺杆结构对气体有压缩作用，最终形成真空。
一、干式螺杆真空泵的优势
工作时，干式螺杆真空泵之间没有摩擦，运行相对稳定，噪音相对较低，工作腔内不需要润滑油。因此，干式螺杆真空泵可以抽出含有大量水蒸气和少量粉尘的气体，具有极限真空度高、功耗低、节能、免维护等优点。它是油封真空泵的升级版本。
二。干式螺杆真空泵的工作原理
干式螺杆真空泵的工作原理主要是利用齿轮传动同步反转啮合但不接触的左螺杆和右螺杆高速旋转。泵壳和螺旋桨的相互啮合的螺旋槽用于分成多个空间并形成多个级。气体在没有压缩的情况下在相等的凹槽中传输。只有螺杆末端的螺杆结构具有压缩气体的效果。可以在螺杆的所有阶段之间形成压力梯度，以分散压力差并提高压缩比。各部件之间的间隙和泵速对泵的性能有很大影响。在设计螺纹零件之间的间隙时，应考虑膨胀、加工和装配精度以及工作环境。像罗茨真空泵，干式螺杆真空泵没有排气阀。
三、干式螺杆真空泵的结构原理
干式螺杆真空泵为立式结构，进气口在上方，出气口在中间，电机和润滑油池在下方。螺杆转子是中空的，并且具有悬臂支撑结构。同步传动齿轮位于轴承支架下方。变频电机通过联轴器与主动转子连接，泵的气路短，立式结构更有利于去除含有微尘的气体。泵壳由水冷却，维护方便。如果干式螺杆真空泵选择一个相对简单的螺旋齿廓截面，其优点是制造简单，加工精度高，易于动平衡。根据其工作原理，我们可以清楚地认识到干式螺杆真空泵具有高真空极限、低功耗、节能、免维护等优点。