螺杆真空泵是容积式真空泵的新成员,出现于20世纪90年代前后,发展缓慢。
但是,作为理想的干式泵,出现了螺杆天生赢家 一触即发-凯发娱发k8官网,并得到了迅速的发展。现在就理解小编和基本知识吧.
一、螺杆真空泵的特点
螺杆真空泵起源于螺杆压缩机和螺杆式液体输送泵,是容积式真空泵中理想的干式真空泵。由于能够清洁无油真空环境,对含有腐蚀性气体、凝结性蒸汽、粉尘粒子的气体有较强的适应性,清洁电子半导体、制药、石油化学等真空环境的要求严格,在气体成分复杂行业中,螺杆真空泵很受欢迎
螺杆真空泵通过一对非对称螺杆转子的相对运动,使齿间容积周期性变化来输送气体,实现抽出。这些特征包括:
1.清洁无油,多相混输,适应性广。螺杆真空泵转子之间有严格的间隙,泵室内无油,可吸入腐蚀性气体、有毒及粉尘、凝结性蒸汽等复杂气体。
2、结构简单,动平衡好,可靠性高。螺杆真空泵零件少,芯零件无易损件,无不平衡惯性力,运行可靠,寿命长。
3、结构简单,零件少,操作、维护简单。
4.通过强制输送空气,可以在宽的压力范围内确保大的吸引速度,排气量几乎不受排气压力的影响。
二、螺杆真空泵的结构
螺杆真空泵一般为双轴结构。螺杆真空泵是经由一对非对称螺杆转子在泵室同步高速反转,使齿间容积周期性变化而产生进气和排气作用的排气设备。
其主要结构为螺杆转子、轴承、泵体、密封件等。螺杆转子经过精密的动平衡补偿由轴承支承,安装在泵室,螺杆与螺杆之间保持严格的一定间隙。泵工作时,相互没有摩擦,工作顺利,噪音低,室内不需要润滑油。因此,螺杆真空泵在能够吸引含有大量水蒸气和粉尘的气体时,具有极限真空高、低耗电、节能、免维护等优点。
螺杆真空泵的主要结构
由上图可知,螺杆真空泵结构简单。形式上,根据螺杆真空泵分为卧式和立式的螺杆转子型生产线,分为单头螺杆真空泵和多头螺杆真空泵。单头螺杆真空泵通过转子的螺距、等螺距螺杆。
多头型金属丝可在一个金属丝内完成进气、压缩、排气过程,金属丝较少,能有效地减少泵的体积和重量,适用于大抽吸速度区域,但其金属丝复杂,需要特殊工具和专用机床,加工费用高,且由于三角泄漏的原因,真空度高
单头型生产线适用于小型螺杆真空泵,市场上也多为单头式真空泵。其中等间距螺杆真空泵室内不压缩,固体粒子和凝结性气体能够简单排出,但排气温度和能量消耗率高的可变间距螺杆真空泵室内有压缩,排气温度低,能量消耗低,但粉尘粒子和凝结性气体的耐性存在等间距差。
三、螺杆真空泵的工作原理
由于是由螺旋压缩机产生的,所以螺旋真空泵的工作原理也与螺旋压缩机相似。用近似的多线进行说明。
1.进气过程
a.进气进程开始
b.进气中
c.进气过程结束
2.压缩过程
a.启动压缩进程
b.正在压缩
c.压缩过程结束排气开始
3.排气过程
a、排气中b、排气中结束
螺杆真空泵的排气过程。齿间容积与排气口连通后,排气过程开始。随着齿间容积的缩小,有排气压力的气体从排气口排出。
四、螺杆真空泵的应用
螺杆泵不仅适应性宽,而且能够在严格的条件下进行排气,并且能够实现高真空度(0.1~1pa)。因此,随着半导体、石油化学行业的迅速发展,螺杆真空泵作为理想的干泵开始广泛应用于电子半导体、医药化学工业领域如半导体行业的蒸镀、蚀刻、医药化学工业行业的蒸馏干燥、中间
由于型线技术和加工成本,螺杆真空泵的购买费用比较高,但从长远来看,其宽度适应、高效节能环保特性和低故障修理率,在运行周期内给企业带来了较高的综合利益和社会环境利益,使用更多的通用性是未来的趋势。