罗茨真空泵的结构概略图如下图所示。
在泵室内,两个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,通过齿轮比为1的一对齿轮带的运动,进行相互反向的同步旋转运动。
在转子之间,转子和泵壳内壁之间有一定的间隙,可以高速运转。
罗茨泵是没有内压缩的真空泵,因为通常压缩比低,所以高中真空泵需要前段泵。
罗茨泵的极限真空除了取决于泵自身的结构和制造精度之外,还取决于前段泵的极限真空。 为了提高泵的极限真空度,可以串联使用罗茨泵。
罗茨泵的工作原理
抽出罗茨泵时,两个转子由传动比为1的一对齿轮驱动,进行相互反向的同步旋转运动。 转子之间不接触,其间有间隙。
罗茨泵的抽气特性
在宽的压力范围内有很大的吸引速度
转子之间、转子与泵室壁之间有间隙,泵室内运动部件无摩擦,不需润滑,泵室内无油
转子形状对称,动平衡性能良好,运行顺畅,选择高精度齿轮传动,运行时噪音低,可获得高转速(提升速度)
罗茨泵在抽气过程中其工作空间的容积不变,即“无内压缩”,这与很多可变容量式真空泵不同。
气体的排出:当转子的顶部转动排气口的边缘,封闭空间与排气侧相通时,由于排气侧的气体压力高,一部分高压气体被推到封闭空间,使空间内的气体压力突然上升到排气压力,即所谓的“外压缩过程”。
转子持续旋转时,气体排出泵外。