干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是一种不使用油、水或其他聚合物等流体作为工作介质的真空泵。这使得干式真空泵的清洁度更好，并防止油污染。因此，干式真空泵主要用于对洁净度要求较高的真空等离子清洗机，如半导体领域、生物医学领域和航空航天领域。真空等离子清洗机上最常用的干式真空泵之一是干式螺杆真空泵。
干式螺杆真空泵
干式螺杆真空泵是一种真空泵，它利用一对螺杆在真空泵壳体内高速同步反向旋转，从而产生作用力，实现抽吸和排气的功能。由于干式螺杆真空泵相互之间没有摩擦，运行平稳，噪音低，所以工作腔内不需要润滑油。干式螺杆真空泵是一种性能优异的干式真空泵，与其他真空泵相比有很多优点：
第一，干式螺杆真空泵的极限真空度很高，最高极限真空可达到1-2pa；
第二，干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低，维护简单;
第三，干式螺杆真空泵的一种工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层，可适应恶劣工况。
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